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Metallmembran für Druckmessung
Silicon Sensor
Silizium-Wafer |
Dehnungsmesstreifen |
Sensor |
Isolierschicht |
Substrat |
Silizium-sensor für Differenzdruckanwendungen
Silizium-sensor für Differenzdruckanwendungen |
Siliziumsensor |
Überlastmembran |
Metallmembran |
Füllflüssigkeit |
Ab 1 mbar dP |
Wechsellastfest |
Funktionsüberwacht |
Für nähere Auskünfte: Endress+Hauser GmbH